본문
Air Floating Solutions for UV Curing Systems
시스템
정밀한 공기부상 솔루션으로 코팅된 기판의 정밀반송이 가능하여 비접촉으로 인한 정전기문제해결로 UV curing에 최적의 환경을 제공합니다.
Air Floating Stage는 어떤 유리 기판의 크기로도 디자인될 수 있으며, UV-curing tool의 어떤 Size에도 적용가능합니다.
Air Floating Stage는 UV 램프의 비교적 높은 온도에서도 결정적으로 플로팅 stage까지 냉각 시스템의 설치를 가능케합니다.
Air Floating stage for UV Curing - Key Features and Benefits
광학검사를 위한 에어플로팅–주요기능 및 이점
• ±5μm 이상의 정확한 air gap
• 어떤 이음라인 없이 UV light까지균일한노출
• 기계적결함들로부터높은내구성(스크레치, 먼지, 액체)